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通信技術(shù)

自超滑MEMS射頻開關(guān)

        MEMS射頻開關(guān)是一種控制電路通斷狀態(tài)的基礎(chǔ)核心電子元器件，具有小體積、低成本、低能耗、低損耗、高線性度、高隔離度等特性， 本可廣泛應(yīng)用于無線通信、自動化測試（ATE）、相控陣?yán)走_、工業(yè)/消費電氣自動化設(shè)備等先進電子裝備領(lǐng)域，但受觸點可靠性、操作功率等性能限制，傳統(tǒng)MEMS開關(guān)在相關(guān)領(lǐng)域一直無法實現(xiàn)大規(guī)模應(yīng)用。
        基于自超滑技術(shù)的新型MEMS開關(guān)，利用超滑界面的極低摩擦、 無磨損、全接觸等特性解決了傳統(tǒng)MEMS射頻開關(guān)壽命短、可靠性差等問題，徹底突破傳統(tǒng)MEMS開關(guān)的主要技術(shù)瓶頸，把現(xiàn)有的射頻開關(guān)的線性度提高了100倍以上，功率提升了10倍以上，實現(xiàn)真正意義上的 “理想開關(guān)”(Ideal Switch），成為電子行業(yè)最具突破性的技術(shù)革新。

功能

對電路中的射頻信號進行通斷、路由、相位改變，是射頻系統(tǒng)基礎(chǔ)核心器件。

原理

利用結(jié)構(gòu)超滑副作為電流傳輸界面，可以將MEMS開關(guān)傳輸功率和壽命提高1-2個量級。

應(yīng)用場景

5G/5.5G/6G基站、移動終端、相控陣?yán)走_、高端醫(yī)療設(shè)備、半導(dǎo)體自動化（ATE）檢測等領(lǐng)域。

5G/5.5G/6G基站
5G/5.5G/6G基站

5G/5.5G/6G基站

半導(dǎo)體自動化測試-探針卡
半導(dǎo)體自動化測試-探針卡

半導(dǎo)體自動化測試-探針卡

相控陣?yán)走_
相控陣?yán)走_

相控陣?yán)走_

核磁共振
核磁共振

核磁共振

性能參數(shù)

指標(biāo) 半導(dǎo)體開關(guān) 自超滑射頻開關(guān)
帶寬范圍 Khz~3.5 GHz DC~40 GHz
插入損耗 0.15-0.2 dB@4 GHz
>0.5 dB@5 GHz		 ≤0.15 dB@5 GHz
隔離度 <25 dB@4 GHz
<4 dB@5 GHz		 25~50 dB@8 GHz
線性度 <90 dBm ip3：>110 dbm
最大輸出功率 <2 W 20 W-200 W
開關(guān)響應(yīng)時間 ns級 500 ns-5 μs
控制電壓 <5 V 10-1000 V
封裝尺寸 <1 mm*2 mm <3mm*2mm